Estudo de deposição de filmes finos em plasmas de Ar/Ar-H2 em regiões de pós-descarga de catodo oco
Plasma DC hollow cathode has been used for the deposition of thin films by sputtering with release of neutral atoms from the cathode. Hollow-cathode plasma of Ar-H2 currently used in the industry has proven to be more efficient in cleaning surfaces and thin film deposition when compared to argon pla...
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Principais autores: | Silva, Bruno Felipe Costa da, Santos, Edson José da Costa, Almeida, Edalmy Oliveira de, Guerra, Paulo Victor de Azevedo, Hékis, Hélio Roberto, Coutinho, Karilany Dantas, Alves Júnior, Clodomiro, Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito |
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Formato: | article |
Idioma: | pt_BR |
Publicado em: |
Revista Brasileira de Inovação Tecnologica em Saúde
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Assuntos: | |
Endereço do item: | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/29544 |
Tags: |
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