Desenvolvimento de um sistema a jato de plasma obtido em cátodo oco para deposição de filmes finos/
Foi construído e testado um novo sistema de jato a plasma obtido por descarga em cátodo oco. O sistema usado para deposição de filmes finos é formado de um cátodo oco, que trabalha a altas pressões (aproximadamente 1 a 5 mbar), fonte DC (0 a 1200 V), câmara cilíndrica de borossilicato fechada por fl...
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| Formato: | Dissertação |
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