Diagnóstico de descarga de cátodo oco de Ar e pós-descarga Ar-N2 por espectroscopia de emissão óptica e espectrometria de massa /
Resumo: Muitas aplicações de plasma exigem que a descarga seja produzida distante da superfície a ser processada, evitando assim danos causados pelo bombardeamento e/ou radiação do plasma. Nesse regime de pós-descarga várias aplicações em materiais termicamente sensíveis podem ser utilizadas. Neste...
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| Formato: | Dissertação |
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| Endereço do item: | https://repositorio.ufrn.br/jspui/bitstream/123456789/15707/1/EdsonJCS_DISSERT.pdf |
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