Diagnósico de plasma de cátodo oco : análise da ação de plasma de argônio e AR-H2PARA a deposição de filmes finos de titânio em pós-descarga /
Resumo: O Plasma DC de catodo oco vem sendo utilizado para a deposição de filmes através de sputtering com liberação de átomos neutros do cátodo. O Plasma DC de Ar-H2 de catodo oco usado atualmente na indústria tem demonstrado ser eficiente na limpeza de superfícies e deposição de filmes finos quand...
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Principais autores: | Silva, Bruno Felipe Costa da., Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito., Alves Júnior, Clodomiro., Universidade Federal do Rio Grande do Norte. |
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Formato: | Dissertação |
Publicado em: |
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Assuntos: | |
Endereço do item: | https://repositorio.ufrn.br/jspui/bitstream/123456789/15706/1/BrunoFCS_DISSERT.pdf |
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