Diagnósico de plasma de cátodo oco : análise da ação de plasma de argônio e AR-H2PARA a deposição de filmes finos de titânio em pós-descarga /

Resumo: O Plasma DC de catodo oco vem sendo utilizado para a deposição de filmes através de sputtering com liberação de átomos neutros do cátodo. O Plasma DC de Ar-H2 de catodo oco usado atualmente na indústria tem demonstrado ser eficiente na limpeza de superfícies e deposição de filmes finos quand...

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Detalhes bibliográficos
Principais autores: Silva, Bruno Felipe Costa da., Guerra Neto, Custódio Leopoldino de Brito., Alves Júnior, Clodomiro., Universidade Federal do Rio Grande do Norte.
Formato: Dissertação
Publicado em:
Assuntos:
Catodo-oco -
Dissertação.
Plasma DC -
Deposição de filmes finos -
Characterize the plasma of Argon.
Plasma mixture of Argon and Hydrogen.
Deposition of thin films.
Endereço do item:https://repositorio.ufrn.br/jspui/bitstream/123456789/15706/1/BrunoFCS_DISSERT.pdf
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