Efeito da posição e da corrente elétrica nas propriedades de filmes de AZO depositados por magnetron sputtering DC sem recozimento e aplicação de filme finos de TiO2

Aluminum-doped zinc oxide (AZO) has important applications in the opticalelectronic area. Among the various techniques for obtaining thin films, magnetron sputtering is well suited for uniform and dense films. Aluminum-doped ZnO films were deposited on glass substrate by magnetron sputtering at a...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Santos, Edson José da Costa
Другие авторы: Costa, Thercio Henrique de Carvalho
Формат: doctoralThesis
Язык:por
Опубликовано: Brasil
Предметы:
AZO
Online-ссылка:https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/26392
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!