Efeito da posição e da corrente elétrica nas propriedades de filmes de AZO depositados por magnetron sputtering DC sem recozimento e aplicação de filme finos de TiO2
Aluminum-doped zinc oxide (AZO) has important applications in the opticalelectronic area. Among the various techniques for obtaining thin films, magnetron sputtering is well suited for uniform and dense films. Aluminum-doped ZnO films were deposited on glass substrate by magnetron sputtering at a...
Сохранить в:
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | |
Формат: | doctoralThesis |
Язык: | por |
Опубликовано: |
Brasil
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/26392 |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|