Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering

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The technique of surface coating using magnetron sputtering is one of the most widely used in the surface engineering, for its versatility in obtaining different films as well as in the micro / nanometric thickness control. Among the various process parameters, those related to the active species of...

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書誌詳細
第一著者:	Nascimento, Igor Oliveira
その他の著者:	Alves Júnior, Clodomiro
フォーマット:	Dissertação
言語:	por
出版事項:	Universidade Federal do Rio Grande do Norte
主題:	Filmes finos. Magnetron sputtering. Espectroscopia de emissão Óptica Thin Films. Magnetron Sputtering and Optical Emission Spectroscopy CNPQ::OUTROS
オンライン･アクセス:	https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/12805
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