Influência dos parâmetros de processo na deposição de nitreto de titânio por plasma em gaiola catódica /
Resumo:Filmes finos de nitreto de titânio foram crescidos sobre vidro utilizando a técnica de deposição por descarga em gaiola catódica a fim de averiguar a influência das variáveis de processo nas propriedades ópticas e estruturais do filme. Como atmosfera do plasma foi utilizada a mistura de gases...
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| Formato: | Dissertação |
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| Endereço do item: | https://repositorio.ufrn.br/jspui/bitstream/123456789/12735/1/Influ%c3%aanciaPar%c3%a2metrosProcesso_Daudt_2012.pdf |
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